Ngũ nghĩa Xa Ma Tha là Xa Ma Tha pháp có năm nghĩa. Chữ XaMaTha là tiếng phạn dịch là chỉ quán, Định, Tịch chiếu minh tịnh, tức ngồi ngay thân thể và tâm chẳng lay động, chăm chú vào một vấn đề cho tỏ lý, quan sát cho sáng suốt, tỏ rõ chơn đạo, đồng nghĩa với Tam ma địa. Tam muội. Trong Niết Bàn Kinh quyển 31 XaMaTha bao gồm năm nghĩa :
1. Năng diệt: Có thể dứt, có thể dứt các sự trói buộc của phiền não.
2. Năng điều: Có thể điều phục, có thể điều phục chế ngự các căn xấu, bất thiện.
3. Tịch tĩnh: Làm cho yên lặng tịch tĩnh, làm cho ba nghiệp trở nên yên lặng tịch tĩnh.
4. Viễn ly: Rời xa, làm cho chúng sanh rời xa ngũ dục( sắc, thinh, hương, vị, xúc)
5. Năng tịch: Có thể làm cho trong sạch, có thể làm cho ba thứ dơ : tham dục, sân nhuế, ngu si, trở nên trong sạch.
Thủ Lăng Nghiêm Kinh quyển II:Phật quở Ngài A nan: “Tuy ngươi nhớ giỏi, chỉ được lợi ích cho sự đa văn, nhưng về phép XaMaTha vi mật quán ngươi chưa tỏ rõ”.